真空旋转涂层机型号:TD-616 
产品型号:TD-616 
产品简介:主要用于液体,胶体在材料表面薄膜的形成,适用于硅片,晶片,玻璃,陶瓷等制版表面涂覆工艺。可在科研,教育,生产中应用。 
主要特点: 
       *高多程序控制器: 
可设定存储7个不同样片的旋转涂敷工艺过程。 
每个涂敷工艺过程可以设置25步不同的速度状态; 
液晶显示屏可以实时显示: 
1.     第N个涂敷工艺过程 
2.     所处工作段 
3.     真空吸片状态。 
4.     设置时间;及实时运行时间。 
5.     设置速度;及实时速度状态。 
            中英文两套操作系统供选择。 
          人机交互式对话,简洁,明了。 


       *真空吸片系统更安全: 
安装有真空度传感器,涂敷工作过程电脑实时检测系统真空度, 
必须在安全的真空度下,电机启动,运行。保障可靠吸片,不飞片。 
       *变频调速电机,转速更高: 
300 - 10000 转/分,转速稳定性:+ - 0.1 % 
转速10000转/分 
     *不锈钢机壳  NPP材质工作腔    
         不锈钢机壳,外表面洁净光亮。美观,方便清洗。 
        NPP材质工作腔。 
可以轻松拆下清洗。可用丙酮擦拭。 
 NPP的化学稳定性优异,对大多数酸、碱、盐、氧化剂都显 惰 性。例如在100℃的浓磷酸、盐酸、40%硫酸及其它们的盐类溶液中都是稳定的。 

技术参数: 
        单相交流电源:220V.50Hz 
        电机功率:150W 
        旋转真空吸盘直径:4英寸(102mm,标准配置) 
                    可选择配置: 基片直径10—150mm可接受订货。 
        转数:300 - 10000 转/分。 
可设定时间:1---9999秒。 
标准包装: 
结构尺寸: 260mm宽 x 350mm深 x 260 mm高 ,  
可选配件 1、60升/分有油真空泵 
2、特殊真空吸盘 
3、70升/分无油真空泵